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在采用光调制法测量光探测器芯片高频响应特性的过程中，测试系统往往忽视光调制器响应、高频探针衰减以及端口间失配等误差中的一项或几项．为了降低校准不完善对结果造成的误差，文中提出了基于信号流图的系统校准分析方法，考虑了各种频响误差及端口间失配的影响，推导出校准公式．利用该法对一种光探测器的典型测试系统——基于LCA（lightwave component analyzer）的测试系统做了进一步校准分析，在130MHz-20GHz范围内，测量了一种新型光探测器的高频响应参数S21，结果表明经流图法校准的S21参