【摘 要】
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激光衍射测微的精度关键在于衍射图样暗纹间距的精确测量,暗纹间距的测量目前主要采用高位数、小中心距的固体图象传感器线阵,为此,提出了一种硬件插值细分的方法.介绍了激光
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激光衍射测微的精度关键在于衍射图样暗纹间距的精确测量,暗纹间距的测量目前主要采用高位数、小中心距的固体图象传感器线阵,为此,提出了一种硬件插值细分的方法.介绍了激光衍射的测量原理,分析了图像传感器的功能,根据采样和恢复定理,对输出的视频信号进行间距插值细分的可行性进行了论证,给出了插值细分的电路框图.分析表明其测量精度不受器件中心距大小的限制,为低位数、大中心距的固体图象传感器线阵的应用提供了方便.
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