采用光导纤维的表面光洁度测量仪

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庆应义塾大学研制出用光导纤维测量磨削面光洁度的测量仪。 该测量仪由光导纤维组成的测头、光学传感器、低通滤波器、记录仪以及测量出测头与工件表面之间距离的涡流型位移计、伺服电机、伺服放大器组成。测量时白色光源发出的光通过光导纤维照射到加工表面上。这个光,因被测 Keio University developed a measuring instrument for measuring the finish of a grinding surface with optical fiber. The measuring instrument consists of optical fiber probe, optical sensor, low-pass filter, recorder and measuring the distance between the probe and the workpiece surface vortex-type displacement meter, servo motor, servo amplifier. The light emitted by the white light source was irradiated onto the machined surface through the optical fiber during the measurement. This light, because of the test
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