β—SiCW合成工艺及反应机理的研究

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本文研究了β-SiCw合成工艺参数和反应历程,提出了合成工艺优化参数,确定了反应进行了步骤。通过对晶须形貌、晶型、杂质含量的分析,表明本方法合成的β-SiCw具有较高的质量水平。
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