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对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述,比较了两种在线技术的优缺点,对两种在线技术的发展趋势进行了展望。
高纯多晶硅在线制备技术及发展趋势
【摘 要】
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对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述,比较了两种在线技术的优缺点,对两种在线技术的发展趋势进行了展望。
【机 构】
：
昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2012年03期
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