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VLSI电路的特征尺寸已降至深亚微米量级，频率已达2GHz。为保证高性能电路设计的正确性，需快速而精确地计算互连寄生电感电阻。本文提出了一种适合三维层次互连结构的描述格式，提出一种考虑趋肤效应的电流细丝自动划分方法，实现了改进的非均匀方体划分多极加速计算，数值结果表明，在可比精度下，它比当前十分先进的多极加速提取软件FastHenry^[1]快数倍以至数十倍。