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[学位论文] 作者：董典红,
来源：北京工业大学 年份：2004
红外探测器作为红外探测系统核心部件,始终是红外技术发展的中心.随着红外实验和理论的发展,新器件不断涌现.今天的探测器制备已成为涉及物理、材料等基础科学和光、机械、微...
[期刊论文] 作者：杨道虹,董典红,徐晨,张剑铭,阳启明,沈光地,
来源：半导体光电 年份：2004
键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视.文章介绍了激光在键...
[期刊论文] 作者：李兰,董典红,刘铮,邓军,徐晨,邹德恕,沈光地,
来源：红外与激光工程 年份：2003
基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的...
[期刊论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,金文贤,阳启明,张剑铭,沈光地,
来源：功能材料与器件学报 年份：2004
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果.该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了...
[期刊论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,张剑铭,阳启明,金文贤,沈光地,
来源：半导体学报 年份：2005
利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时，在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构．研究表明，薄膜表面的生成物的分形属于典型的有限扩散集团凝聚模型，其......
[期刊论文] 作者：杨道红, 徐晨, 董典红, 李兰, 吴畯苗, 张剑铭, 阳启明,,
来源：北京工业大学学报 年份：2004
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[期刊论文] 作者：杨道红,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,,
来源：北京工业大学学报 年份：2004
为了实现在较低超净环境下的硅/硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅/硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了...
[期刊论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,,
来源：城市道桥与防洪 年份：2004
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2004
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐...
[期刊论文] 作者：董典红,徐晨,邹德恕,李兰,杨道虹,张剑铭,阳启明,沈光地,
来源：红外与激光工程 年份：2005
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、...
[会议论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,李兰,刘铮,张剑铭,阳启明,邹德恕,沈光地,
来源：第十届全国光电技术与系统学术会议 年份：2003
由于硅-硅键合对环境要求比较苛刻,从而使得该技术的推广应用受到了很大的限制.该文报道了无水乙醇气氛下的SDB方法成功实现了低超净环境下的硅-硅键合,最后给出了理论解释,...
[期刊论文] 作者：杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,沈光地,
来源：仪表技术与传感器 年份：2004
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐...
[期刊论文] 作者：杨道红,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,邹德恕,沈光地,
来源：北京工业大学学报 年份：2004
为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无......
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