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中空阳极离子源相关论文
中空阳极离子源的研制以及氢钝化过程对非故意掺杂GaN材料输运性质的影响
本文由两个部分组成,第一部分是中空阳极离子源的研制,第二部分是利用中空阳极离子源对分子束外延生长的GaN材料进行氢离子钝化处理,......
学位
中空阳极离子源
氮化镓材料
氢钝化
持续光电导
深能级
输运性质
分子束外延生长
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