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正反欧姆区间伏安特性对镀层均匀性及膜/基结合强度的影响
将靶材与真空腔之间的伏安特性引入正-反欧姆过渡区间,采用脉冲控制模式研究不同靶电流密度对镀层均匀性和膜/基结合强度的影响规......
期刊
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磁控溅射离子镀
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正反欧姆区间伏安特性对TiN薄膜微观结构及性能的影响
采用脉冲控制模式将气体放电伏安特性由磁控溅射离子镀的“正欧姆”区间引入到“反欧姆”区间,并在不同靶电流密度下制备了TiN薄膜......
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气体放电
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