宏微运动平台相关论文
随着微电子制造业装备对加速度和精度的要求的不断提高,宏微运动平台作为微电子制造业的关键设备,突破加速度和提高重复定位精度是......
微电子制造装备不断向着高效率、高密度、高性能方向发展,对其运动平台提出了更高的性能指标要求,需在满足高速、高加速、大行程运......
继上世纪80年代扫描隧道显微镜（STM）被研制成功后，一系列的扫描探针显微镜（SPM）随之出现，人类对微观领域的探索得以不断深入。但是随着科......
为探究宏微运动平台连接架在多工况下的动力学特性，针对宏微运动过程中的连接架进行了多工况受力分析。利用有限元方法，对各个工况下......
突破宏微运动平台加速度限制对于微电子制造业的快速发展具有重要意义。为突破加速度限制,基于"宏+微+宏"驱动模式,提出了一种超高......
针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一......
随着微电子制造封装装备性能的不断提高,其关键运动部件——运动平台的高速高加速度运动特性与精密定位性能已成为影响装备整机性......
随着微电子制造业的高速发展,电子封装装备对运动系统速度、精度及成本等提出了苛刻的要求。高性能封装装备将实现高加速(10-15g)......
大行程高速高加速度精密定位技术是微电子制造、超精密加工、精密测量等领域快速发展的基础。在芯片封装行业,随着芯片引脚间距的......
