微继电器相关论文
利用微加工技术将微机构和电子线路集成到一枚硅片上形成的所谓微机电系统（MEMS：Micro Electro Mechanical System），由于它在航天，军工，......
摘 要：使用微继电器代替原机械琴键开关与音周闸对音频信号的控制，采用单片机作为控制芯片，通过RS-232接口与电脑进行数据交换，使用编......
随着深刻蚀等微机械加工技术的发展，在金属本体上可以加工出多种微结构，金属钛、钨、钼等成为了新兴的微机电系统(MEMS)结构材料。本......
近年来，随着微机电系统技术的不断发展，微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统继......
介绍国内外MEMS微继电器的研究现状,分析不同类型继电器的驱动原理和特点,讨论MEMS微继电器的基本结构特点和关键问题,并分析MEMS......
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸，可以使微继电器的阈值电......
提出一种方法，它有助于在新技术研究开发的早期过滤掉导致不经济方案的决定。强调指出在产品寿命周期不断缩短的情况下采用建议方法......
在MEMS继电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗。在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺......
在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁......
静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出......
<正> 从传感器领域到开关应用,随着MEMS技术的不断进步,继电器用户有了更多的选择.依据美国专门从事市场调研活动的System Plannin......
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析，介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的......
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚......
期刊
通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电......
期刊
设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械（MEMS）继电器，并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺，利用Cu作为牺牲层材料，Ni作为微......
