碳化硼薄膜相关论文
采用氢气为辅助气体,在不同氢气流速下用微波等离子体辅助脉冲直流磁控溅射系统制备碳化硼薄膜.碳化硼薄膜的设计厚度为1200 nm,过......
The theoretical expression of the relationship between optimum doping content and crystal structure is presented as well......
采用了电子束蒸发在Si（100）片沉积了碳化硼（B4C）薄膜,并用傅里叶变换衰减全反射红外光谱（ATR FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）对薄膜样品组分......
碳化硼是一种非常重要的非金属材料.它具有优良的力学,热学以及微电子学性质.这使得碳化硼在微电子学、核物理、军事以及空间技术......
采用电子束蒸发技术制备碳化硼薄膜,利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的结构,测量了薄膜的X射线光电子能谱(XPS),并利用原子力显微镜(......
碳化硼薄膜具有硬度高、耐磨性好和摩擦系数低等特点,是一种很有潜力的齿轮表面防护材料,有望成为一种新型固体润滑薄膜,在表面工......
本文归纳了碳化硼薄膜的主要特性以及近年来在功能陶瓷、热电元件等方面的广泛应用。总结了目前物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(......
在不同基片温度下,采用电子束蒸发法在Si(100)衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了基片温度对薄膜性能的影响。采用X射线光电子能谱仪(X......
采用KrF准分子激光器，在Si，Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜，研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响......
