薄膜厚度测量相关论文
薄膜广泛地应用于液晶屏、摄影镜头、反射镜等工业产品和生活用品中。薄膜的厚度是影响薄膜性能的最重要的指标之一,国内现有的膜......
只有解决了薄膜厚度的高精度测量问题,才能解决薄膜制备过程中的工艺优化与制备技术问题。光干涉计量测试技术以波长为计量单位,是......
本文以国际发光照明委员会所规定的XYZ空间体系为基础,根据发光物体辐射的相对光谱功率分布,通过计算机对标准照明体干涉场分布进行......
该文介绍了一种以激光传感器为核心的薄膜厚度测量系统和以模糊理论为基础的模头唇口调节方法,以及工控机在系统中的应用。......
在薄膜技术中,薄膜厚度对薄膜的性质有着关键性的影响,它与薄膜的电磁性能、力学性能以及光学性能都有着密切的联系,这也使得薄膜......
只有解决了薄膜厚度的精确测量问题,才有可能解决薄膜的制备问题。光干涉计量测试技术以波长为计量单位,是一种公认的高精度计量测试......
随着工农业的迅速发展,对薄膜的需求量日趋增大,其产品广泛应用于农业生产、电子工业、化学分析等领域。根据不同的用途和使用环境......
提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的......
根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了用自适应模拟退火法结合共轭梯度法确定薄膜厚度的新方法.该方法建立的数学模型先采用自......
提出了一种计算薄膜厚度的单极值点算法.在对Sio2二氧化硅薄膜的测试中,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小......
氮化镓薄膜是制造蓝紫光光电子器件的理想半导体材料之一。三元合金InGaN薄膜是优良的全光谱材料而且不同In组分的InGaN薄膜叠层可......
期刊
为解决薄膜厚度的高精度测量问题,提出一种基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量新方法,利用该方法对一个实际SiO2薄膜样片进行测试,......
从1948年Dennis Gabor提出全息术至今,激光器和光电耦合器件的发展极大地推进了数字全息术的快速进步,数字全息术使用光电耦合器件......
为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变......
微位移通常是指位移范围仅为至几毫米甚至几微米,而测量准确度则达到纳米亚纳米级。微位移测量方法很多,这些测量方法的准确性检验......
随着现代科学技术的发展,高速、高精度的在线检测技术越来越受到生产工程领域研究人员的关注,在线检测技术水平直接影响到生产线的......
本文首次利用Michelson干涉仪对多弧离子镀TIN装饰膜厚度进行了精确测量,该方法原理简单,测量精度高、可重复性强,是装饰膜厚度测量的最佳方法。......
为改进薄膜厚度测量系统传感器检测电路结构复杂、易受干扰等缺点,设计了基于CAV444的电容传感器,详细阐述了测试原理及传感器检测......