DUV光致抗蚀剂相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

DUV光致抗蚀剂相关论文

DUV光致抗蚀剂的研究进展(Ⅰ)--主体成膜高分子部分

综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......

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DUV光致抗蚀剂矩阵树脂产酸源阻溶剂化学增幅

DUV光致抗蚀剂的研究进展Ⅱ——光产酸源、阻溶剂等添加剂部分

(续上期)在DUV抗蚀剂中除第1部分已介绍过的主体成膜高分子以外,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分,对......

期刊

DUV光致抗蚀剂研究进展光产酸源阻溶剂添加剂

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