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矩阵树脂相关论文

DUV光致抗蚀剂的研究进展(Ⅰ)--主体成膜高分子部分

综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......

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DUV光致抗蚀剂矩阵树脂产酸源阻溶剂化学增幅

ArF激光光致抗蚀剂的研究进展

本文对近10年来有关ArF激光(193 nm)光致抗蚀剂的研究开发情况进行了调研,对193 nm光致抗蚀剂组成物的各个组分进行了归纳综述.从......

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ArF激光光致抗蚀剂化学增幅矩阵树脂光产酸源

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