产酸源相关论文
综述了近十年来DUV抗蚀剂体系的进展,特别对DUV区化学增幅抗蚀剂的矩阵树脂、产酸源、阻溶剂作了详细的阐述.并指出,通过改进感光......
在大量的文献调研及以前工作的基础上,研制出热敏负性CTP版。其热敏层的基本组成为:(1)线型酚醛树脂;(2)羟甲基酚醛树脂;(3)产酸源......
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