MOCVD反应器相关论文
金属有机化学气相沉积(MOCVD)是制备微电子和光电器件的关键技术。在MOCVD反应器中,存在着大的温度差和浓度差,将引发强烈的自然对......
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金属有机化学气相沉积(MOCVD)是制备LED、半导体激光器和大功率电子器件的关键技术。随着半导体照明产业的迅速发展,MOCVD外延片的......
金属有机化学气相沉积(MOCVD)是制备基于氮化镓(GaN)材料的蓝、紫光发光二极管、半导体激光器以及高频大功率微电子器件的主要方法......
以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用......
本文提出了MOCVD生长GaN的表面循环反应模型，将该反应模型应用于作者新近提出的反向流动垂直喷淋式反应器，进行三维数值模拟。得出反......
本文提出一种新的切向喷射式MOCVD反应器,反应气体从均匀分布于内壁的切向进口喷管喷入反应器,尾气从位于反应器中心的上方或下方......
金属有机化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD)是制备半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等......
论述了MOCVD反应器的基本概念和国内外对反应器中输运现象的研究情况,重点论述了垂直喷淋式MOCVD反应器的研究,并指出了当前研究中......
