ＭｉｃｒａｓｃａｎⅢ步进机增强了ＳＶＧＬ公司深紫外光刻市场竞争力据《ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＮｅｗｓ》１９９６年８月１２日报道，ＳＶＧＬ公司今秋推出ＭｉｃｒａｓｃａｎⅢ步进机同日本两大光刻设备公司竞争深紫外光刻．设备市场。......