SrHfON 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

SrHfON相关论文

SrHfON高k栅介质薄膜的漏电特性研究

采用射频反应磁控溅射法在p-Si(100)衬底上成功制备出SrHfON高k栅介质薄膜,并研究了Au/SrHfON/Si MOS电容的漏电流机制及应力感应......

期刊

栅介质 Schottky SrHfON 栅压电特性漏电流机制电容表介质薄膜界面态密度磁控溅射法

SrHfON高κ栅介质薄膜的漏电特性研究

采用射频反应磁控溅射法在p-Si(100)衬底上成功制备出SrHfON高k栅介质薄膜,并研究了Au/SrHfON/Si MOS电容的漏电流机制及应力感应......

期刊

高κ栅介质 SrHfON 漏电流机制应力感应漏电流

看过本文同时还关注