XECL准分子相关论文
本工作利用高频介质阻挡放电对较低气压(70～1 330 Pa)Xe/Cl2混合气体中XeCl准分子的形成过程进行研究.通过探测不同Xe/Cl2混合气压......
以镀制半导体薄膜、巨磁薄膜、金刚石及其它薄膜,外延生长及后续的光刻,激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计、研制了......
本文报道了用XeCl准分子激光泵浦Rh6G染料激光振荡放大系统。分别研究了一级、二级的染料激光放大系统，测量了一些参量特性，获得了线......
本文报道用XeCl准分子激光分解W（CO）6气体分子沉积钨膜，面积约2．6cm^2，测量了膜层的厚度，电学性质和光学性质，并用扫描电镜观察了膜层的微......
