本文概概述了透明导电薄膜的性能、制备技术和应用前景。并以ZnSO_4．7H_2O和NH_4Al(SO_4)_2．12H_2O为主要原料，NH_4HCO_3为沉淀剂采用......

阐述用磁控溅射技术制备综合性能优良的ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现状和趋势。介绍了透明导电薄膜的基本性能及其存在的问题，......

用热等静压法烧结制备了高导电性ZAO(铝掺杂氧化锌)陶瓷靶材,并用直流磁控溅射法制备出ZAO透明导电薄膜.靶材的致密度达98.7%,电阻......