ZNO:AL相关论文
该研究课题以氧化烟锡靶和氧化锌铝靶为靶材,采用射频磁控溅射工艺在纯氩气氛中沉积ITO和ZAO薄膜,靶材中SnO和AlO的掺杂比例分别为......
透明导电氧化物薄膜材料具有大的载流子浓度和光学禁带宽度,因而表现出优良的光电特性,如低的电阻率和高的可见光透过率等.目前此......
利用中频脉冲直流磁控溅射法制备了平面ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,研究了沉积压力、衬底温度和溅射功率对AZO薄膜光电性能、薄膜稳......
利用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和 70 59玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的低电阻率的ZnO :Al透明导电膜 ,对在低温 ( 2 5～ 2 ......
用射频磁控溅射氧化锌掺铝陶瓷靶的方法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al薄膜。研究了衬底温度(Ts)、靶基距(Dt-s)对薄膜结构及光电性能......
室温下,利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了铝铬共掺杂氧化锌薄膜,研究了溅射功率(55-130 W)对薄膜结构、残余应力、表面形貌及......
铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.......
利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO：Al薄膜，并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温......
透明传导性的氧化物(TCO ) 薄电影是在在太空船抵抗系统的太阳能电池和原子氧(AO ) 有潜在的应用的一种功能的材料。TCO， ZnO : 艾......
采用溶胶-凝胶法在普通玻璃衬底上制备出了Al^3＋离子掺杂的ZnO（ZnO：Al）透明导电薄膜．利用X射线衍射仪fXRD）、扫描电子显微镜（SEM）、四探针......
本文利用Nd-YAG激光器(波长为1064nm,频率为10Hz)做光源,以锌铝合金为靶材,分别在石英玻璃和聚碳酸脂基体上沉积了Al掺杂ZnO薄膜,......
本文采用射频磁控溅射法,首次在透明柔性聚合物TPT材料衬底上制备了掺铝氧化锌透明导电薄膜(ZAO),研究了关键工艺参数对薄膜结构及......
运用溶胶-凝胶技术，在普通玻璃基片上制备Al^3＋掺杂的ZnO透明导电薄膜．采用X-射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的结构和形貌进行......
采用射频磁控溅射法在有机薄聚合物膜衬底上制备出铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)透明导电膜,对薄膜的低温制备(25～180℃)、结构和光电特性......
采用溶胶-凝胶法（sol—gel）在普通载玻片上制备了ZnO：Al薄膜，在200～600℃下退火。利用XRD、紫外-可见光-近红外分光光度计和电阻测试仪......
本文以ZnO：Al（ZAO）陶瓷为靶材，采用孪生对靶直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出高质量的铝掺杂氧化锌透明导电膜，研究了该薄膜的结构、......
