亚50nm相关论文
提出并演示了一新型的低成本亚50纳米多晶硅栅制作技术.该技术的特点是它与光刻分辨率无关,即不需要高分辨率光刻技术.纳米尺度的......
描述了一种用综合性方法设计的亚50nm自对准双栅MOSFET，该结构能够在改进的主流CMOS技术上实现。在这种方法下，由于各种因素的影响，双......
