切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
光刻曝光相关论文
采用Levenson相移掩模的KrF准分子激光投影光刻工艺研究
本文介绍我们把相移掩模光刻技术和准分子激光光刻技术结合起来进行的进一步提高光刻分辨力,扩展光学光刻极限的研究.包括Levenson......
会议
相移掩模
准分子激光
光刻工艺
亚微米i线投影光刻曝光系统研制
...
会议
亚微米
投影
光刻曝光
光致抗蚀剂薄膜在光刻掩膜制作中的应用
该文介绍光致抗蚀剂薄膜在光刻掩模制作中的一种新的应用,即用光致抗蚀剂薄膜来制作光刻用的衰减相移掩模。介绍这种新方法的原理和......
会议
光致抗蚀剂
薄膜
光刻分辨力
掩膜制作
衰减相移掩模
制作工艺
掩模制作
实验
激光投影
光刻曝光
准分子
新方法
原理
应用
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物