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当今社会各种假冒伪劣产品越来越多，精密光刻系统主要应用于烟、酒等产品商标的防伪。本文介绍了直线电机的结构与原理，以及精密光刻......
本文主要给出了利用SU-8光刻胶进行深紫外光刻的研究结果.因为不同波长的紫外光在SU-8中的穿透深度不同,所以不同波段的紫外光刻结......
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