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高速大数据的传输与信息处理是光通信中的重点。4×10G 850nm是大数据处理中心所用的关键部件,本文介绍了基于一种垂直腔体发射激......
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系......
荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一 ,通过不断的技术创新 ,在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工......
本专利是关于利用掩模和片子的对准图形进行对准的电—光对准系统,对准图形的象可以经过空间滤波器有选择地通过,每个对准图形包括......
给出了一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法。在高斯准直光束后加一透镜系统，恰当地调整准直高斯光束到某一种汇聚发散的状态。在......
设计了一套光学对准测量装置，该装置主要由面阵CCD相机、光学镜头、图像处理模块、LED红光光源、球面反光镜组成。介绍了测量原理，测......
