对准系统相关论文
本文首先介绍了准分子激光角膜治疗机设备的检测现状,然后分析了各种品牌机器眼球跟踪系统的原理,最后参考美国国家标准中关于对准......
期刊
本文阐述视频图像对准系统的原理及图像细分处理过程.讨论标记图形与减小对准误差的处理方法.......
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要。不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影......
舰载转运弹链为实现防空功能通常装备防空弹,为保证防空弹的快速定向与发射,需要配备具有实时定向功能的对准系统给弹载惯组提供姿......
空间光通信中，空间光束的自动搜索、跟踪、瞄准技术是一项关键技术，在ATP系统的粗定位系统中，PSD对光束的空间分辨率是一个很重要的参......
当电力、煤炭、石油等不可再生能源频频告急，新能源革命在全球展开。太阳能作为一种新兴可再生资源，在不远的将来将成为世界能源供应......
在三相交流变配电系统中,电源相序的正逆与否十分重要,因为它将直接影响三相交流异步电动机的正反转及其他一些因素,进而有可能影......
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影......
随着芯片特征尺寸的减小,光刻成像技术的不断提高,而关键尺寸(CDs)的缩小则产生了更为精确的套刻精度.这些套刻精度在已随着工作台......
IC封装中嵌入的微型电路连接可以通过纳米焦点X光光管技术和纳米焦点CT来检测:包括铜或金焊线、堆叠芯片、倒装焊接、微穿孔连接的......
对掩模 硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析 ,阐述了误差形成机理及相应的对策 ,以理论分析指导精度实验取得......
双层平台，适应X-Y-0及Z方向快速自动调节。上视／下视视觉对准系统，呵选择单照／双照生产，操作方便；圆形，方形，十字形等各种形状的mark点均可......
Autofocus method based on the analysis of image content information is investigated to reduce the alignment error result......
0 引言现代高精度加工系统中,常常需要对被加工工件的尺寸进行实时检测和控制。当工件处于高速运动或人无法接近的环境时(如激光照......
过去的三年里，JPL致力于设计研究具有高传输速率且复杂程度降低的光学通信终端，称之为OCD系统。OCD系统利用少量的探测和控制元件就......
本发明提供一种光谱系统以及光谱系统的自治调整方法和相应的计算机程序产品。通过检测反射辐射在光谱分析单元的孔径的横平面中的......
该项目由机械工程学院测试计量技术及仪器学科带头人、博导钟毓宁教授负责，2004年获得武汉市科技攻关项目立项。经过三年的研究，研制......
舰载武器对准系统是以计算机为平台,结合多种先进技术的高新技术产品,使得武器系统对准工作更加快捷精密,系统软件在其中起着非常......
提出一种的适合对准标记图像处理的改进亚象素细分定位算法，并提供了完善这种定位算法的缩小检测窗口的方法。......
对掩模－硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析，阐述了误差形成机理及相应的对策，以理论分析指导精度实验取得了......
阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处......
针对三种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的实验验证.采用一种新的测试方法,即先通过软件得到大量的......
压电微音叉与钨探针结合,构成SPM(扫描探针显微镜)的扫描测头。将双测头对称置于微球的赤道圆截面处,构成微球球度差动测量系统。......
微电子技术的不断发展,对光刻设备精度的要求越来越高,特别是在一些特殊器件的制作领域,要求基片多次曝光后必须达到较高的套刻精......
ITER转运车的对准系统由托架和对准销等组成。托架使转运车能在装置端口前停靠；使车厢能在各方位上运动，能产生必需的推动力和反作用......
本文介绍了ＢＧ－７０３型双面曝光机的对准系统，并对该系统的误差及其产生因素进行理论分析，提出了减小误差的措施。......
介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有对准光栅标记，经光栅衍射后形成干......
比较了光刻机中几种常用的对准方式，并分析了其优缺点，在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细......
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影......
作为微细加工技术之一的高分辨率光刻技术--同步辐射X射线光刻(XRL)可应用于100nm及100nm节点以下分辨率光刻,高精度对准技术对XRL......
IC封装中嵌入的微型电路连接可以通过纳米焦点X光光管技术和纳米焦点CT来检测：包括铜或金焊线、堆叠芯片、倒装焊接、微穿孔连接的......
EVG620HBL Gen Ⅱ是EVG用于高亮度发光二极管（HB-LED）批量生产的第二代全自动掩模对准系统。GenⅡ在发布第一代EVG620HBL的1年后推出......
给出了基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理及信号处理流程。包括：基于外参考干涉对准技术的对准系统的对准原理;电子信号......
提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术,并进行了数值分析。采用先单个再整体的分析方法,通......
针对基于微压印成形三维MEMS器件制造工艺多层压印的需要,开发了一套基于视频图像对正原理的压印光刻对准系统.硬件系统以显微镜头......
本文根据分层制造对准系统的精度要求,研究了改善精度的软件补偿措施:设计了SUSAN和多帧平均降噪结合的无损滤波算法以减小滤波过......
针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要，设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相......
提出了一种用于光刻装置的对准系统。该对准系统所用的标记包含多个相位子光栅。其中，标记±1级衍射光的光强信息用于产生粗对......
在图象处理系统中，处理速度是很重要的技术指标。本文介绍了一种采用求和投影法进行的预处理方法，在处理速度方面得到了很大的提高，取......
随着光刻机技术的发展,特征线宽尺寸减少到纳米级,对光刻机对准系统提出了更高的对准精度的性能指标。对准系统是光刻机最精密复杂......
提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记，标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时，单波......
对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一。阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,......
为了用更简单的光学器件使对准标记产生的衍射光实现重叠干涉,同时能够降低对准系统的加工和装调难度,设计了基于瞳面干涉的自参考......
对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件......
<正> 前言 弹道式导弹通常是利用惯性制导系统对导弹进行控制、制导,使之以要求的精度飞向目标,从而完成它所担负的战略(或战斗)任......
贴片机对准系统的精度标定是视觉定位的关键环节,直接影响贴片精度与贴片质量。为提高对准系统标定精度,提出了基于光栅的精度标定......
