光谱椭偏仪相关论文
椭偏仪通过探测偏振光与待测样品反应前后偏振态的改变来获取样品的几何形貌和光学信息,具有快速准确、非接触无损伤、低成本和易......
单旋转补偿器型椭偏仪随着其硬件水平和测量精度的逐步提升,获得了广泛的应用,其硬件水平包括光源的稳定性、偏振调制运动控制、以......
光谱椭偏数据分析是基于模型的分析方法,建立光学模型模拟被测样品,通过比较椭偏测量数据和模型生成的数据,对模型参数进行迭代优......
光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏......
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器，双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波......
随着半导体器件需求不断提高,薄膜制备工艺逐步成熟,科研工作者的研究方向也逐步由常规厚度HfO2薄膜的性能改善转变为10 nm以下的......
光谱椭偏仪被用来研究用脉冲激光沉积方法在Si（100）基片上,温度分别为400,500,600,700℃制备的ZnO薄膜的特性。利用三层Cauchy散射模......
光谱椭偏测量技术已广泛应用于材料科学、微电子、物理化学和生物医学等领域。在光谱椭偏测量系统中,由于起偏器和检偏器存在漏光......
光谱椭偏仪是一种利用偏振光学原理来测量薄膜样件的精密光学仪器,通过对光谱椭偏测量数据的分析,可以获得有用的薄膜光学特性和膜......
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统（MEMS）制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、......
研究了沉积时真空室真空度、基片温度和沉积速率对常用电子束蒸发非晶硅（a-Si）光学薄膜的折射率和消光系数的影响。结果表明，在300～110......
