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用直流磁控溅射方法在硅衬底上制备氮化铝薄膜。X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构和成分；椭圆偏振仪测量并拟合获得......
采用MIP-700多功能离子镀膜机对4Cr14Ni14W2Mo和W9Mo3Cr4V两种不同材料进行Ti N镀膜处理工艺研究,并利用WS-2005自动划痕测量仪测......
