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直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜相结构与划痕性能研究
TiAlN具有硬度高、化学稳定性好、摩擦系数低、抗氧化温度高等优异性能。Al含量的不同会导致TiAlN薄膜晶体结构的变化,进而影响TiA......
学位
直流磁控溅射
TiAlN薄膜
膜基结合力
相结构
直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜研究
本研究采用直流磁控溅射的方法在W 18Cr4V高速钢基体上制备不同Al/Ti比例的(Ti,Al)N薄膜,为此,在圆柱形磁控溅射Ti靶表面上,采用多......
期刊
磁控溅射
(Ti
Al)N薄膜
划痕性能
膜基结合力
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