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利用物理量耦合把一种物理量信号转换成另一种容易识别的信号或者把一种控制信号用另外的物理量信号表达出来是传感器/致动器的一......
面向高灵敏度、低功耗的MEMS传感器在国防军事、航空航天、深空探索等领域的重大应用和发展需求，本课题组在前期国家自然科学基金重......
设计了在Si微结构与AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管（HEMT）集成的微机电系统（MEMS）。通过微机械加工工艺,完成了力电耦合传感结构的加工。......
采用介质键合技术制备的Si基GaAs材料衬底,缺陷密度小。对待键合的器件结构电学性能影响小。对采用目前常见的介质材料制备的Si基G......
利用Stroh公式结合半逆解法,得到裂纹尖端附近的场解和场强度因子解,并利用权函数方法求解裂纹尖端的能量释放率.结合算例,探讨不......
结合掺和料的形态分析,研究了碳纤维、石墨、钢纤维以及两种纳米氧化钛复合水泥基材料的力电耦合效应.研究结果表明:钢纤维长径比......
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作为一种智能材料,非均匀压电材料广泛应用于航空航天、军事等领域,由于其脆性,材料中的微裂纹对结构寿命影响较大。基于非均匀压......
Si,GaAs,Si基异质外延GaAs三种材料的基本力学特性各有不同,通过理论计算和ANSYS仿真得出相同条件下Si基异质外延GaAs材料中GaAs应......
