有机聚硅氧浣树脂是一种很好的薄膜保护材料,本文研究了有机聚硅氧烷树脂薄膜的成膜、固化及保护机理,并研究了旋转匀胶法制备有机......

常温压印光刻工艺是一种新型的集成电路和MEMS制造技术,成本低廉.匀胶工艺是压印的前道工序,是实现高质量压印复型的基础.该文针对......

采用改进的Hummers法制备改性石墨烯分散液,然后用匀胶法在玻璃基底上制备改性石墨烯薄膜,研究低速（600~800 r/min）、中速（1 000~2 00......

根据改进的Hummers法制备了5mg/mL的改性石墨烯分散液并采用匀胶法在玻璃片上制备改性石墨烯薄膜,分别研究了转速(600~2000r/min)......

阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进......

主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结.实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自......

预置层厚度和均匀性是影响激光微熔覆布线质量的关键因素,本文通过对旋转法匀胶工艺的系统研究,得出了温度和溶剂含量对导电浆料粘......