单频激光干涉仪相关论文
现有复杂面形轮廓测量技术存在测量局限性大、测量结果一致性差、面形评价的合理性无法进行判断等问题,因此需要对复杂面形的测量......
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近十年来,在几何量计量检定、纳米测量装备集成、材料属性测试和微机电系统动力学测试等领域,单频激光干涉仪得到了越来越广泛的应......
论述了一种新型单频激光干涉技术的原理和测量系统。该测量系统在迈克逊单频激光干涉仪的基础上采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）接收器件......
本文扼要阐述在激光干涉测量的数据处理中，采用特殊的“自动移位分频”逻辑，与交错进位可逆二进制累加器相结合；从而使小数有理化的运......
提出了单频激光干涉仪中偏振分光棱镜(PBS)误差的在线补偿方法。研究了入射条件对PBS偏振特性的影响,定量给出了斜入射时,PBS......
激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优......
本文叙述了一米长光栅刻划机中激光干涉仪双光楔条纹调节机构、便携式单频激光干涉仪中弹性浮动条纹调节机构和几种光栅莫尔条纹调......
为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响，分析了引起其非线性误差的各种因素。利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量......
为了达到对混联机床主旋转轴精度准确评价的目的,采用单频激光干涉仪进行精度检测,并为机床主旋转轴定位误差的补偿做准备。针对干......
研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术,该工作台采用直线电机进行大位移驱动,来保证较大的工作行程和较快的响应速度,而......
通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析，研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量......
介绍了一种基于USB总线的单频激光计数卡。重点阐述了该数据采集卡的总体设计与实现，讨论了四倍频细分辨向电路、锁存电路以及USB接......
介绍单频激光干涉位移测量系统的数据采集设计方案。使用数据采集卡和PC机，在VC＋＋环境下，对激光干涉位移测量结果进行环境参数补偿和修......
介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基......
为了提高单频激光干涉仪正交信号相位细分辨向的可靠性与重复性,本文在正交信号Heydemann误差模型和数字信号处理技术的基础上,提......
激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来，激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加......
提出了一种基于激光束光斑圆心位置偏移计算的导轨直线度测量方法,能够实现对导轨直线度的测量.从激光干涉仪发射出一束激光,打到......
激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法,激光干涉仪在使用过程中由于光源、环境干扰、电路结构、光学镜片等因素,其信号不可避......
