压控电容相关论文
采用静电场力作用下二维三阶段微梁的静力分析模型，分析了影响两侧下拉电极MEMS压控电容可控范围的因素，这些因素包括：驱动电极的位置......
设计并制作了基于硅基的射频微机械压控电容。该电容采用三对极板的传动结构,当两侧控制极板受到静电力驱动时,位于中部的电容极板......
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