压电微动平台相关论文
具有高精度的压电微动平台广泛应用于先进制造加工、生物科技、医学工程和自动化技术、纳米测量等微纳技术,是实现超精密加工、操......
压电致动器具有刚度大、频率响应快、位移分辨率高等优点,是精密定位领域的理想致动器,已成功应用于微纳米尺度测量、微机电系统、......
压电陶瓷驱动器(PEA)用来驱动平面3-RRR微动平台,实现微米级定位和轨迹跟踪等应用。在微动平台控制中主要存在两个问题,一是压电陶......
为了减小压电微动平台的迟滞误差，提高其定位精度，在建立其数学模型的基础上，关于其控制方法开展了相关研究，具体研究工作如下：1)采用各......
将不确定量的灰色PID控制引入压电微动平台的控制中，仿真验证了灰色控制在微定位平台的适用性。通过与经验PID控制得出对平台的阶跃......
纳米级定位精度的压电微动平台是扫描探针显微镜(SPM)关键组成部分之一,高速高精是对微动平台扫描运动的基本要求。然而,由于微动......
随着微机电系统和纳米科学技术的飞速发展,作为微纳米运动平台或系统主要组成部分的微智能驱动器、柔顺机构、超/高精度传感器以及......
为使压电微动平台定位速度快、定位精度高,采用复合控制方法来对其进行定位控制。基于保证模型精度并使精度在整个阈值区间变化尽......
为了建立既有较高精度又有较快运算速度的压电微动平台迟滞模型,对传统PI迟滞模型进行了改进研究。由于压电微动平台初载曲线前半......
