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双柔性平行六连杆相关论文
垂直轴宏微复合二维运动平台及直线度误差补偿技术的研究
微纳技术的发展对精密定位平台提出了更高的要求,但即使是超精密机械,在生产过程中也不可避免的存在制造误差、安装误差等几何误差......
学位
垂直轴宏微复合
二维运动
双柔性平行六连杆
前馈控制
直线度
误差补偿
双柔性平行六连杆微动平台结构的设计及测试
采用直圆型柔性铰链设计了承载能力较大的双柔性平行六连杆微纳定位平台,并对其性能进行了测试。基于柔性铰链经典刚度公式计算了......
期刊
双柔性平行六连杆
微动平台
刚度
固有频率
激光干涉仪
多普勒激光测振仪
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