微动平台相关论文
作为精密运动的执行机构,压电致动器具有位移分辨率高、频率响应快以及热变形小等优点,广泛应用于微纳制造与精密测量领域。然而,......
随着精密制造、精密测量等技术的发展,其对工作环境的振动要求越来越高。传统的被动隔振方法已经不能满足时变振动的抑制要求。磁......
随着现代科技的发展,具有特殊微结构表面的零件被广泛应用于航空航天、生物技术、医学、测量和军事等领域。表面微结构的高效、高......
在众多精密微操作任务中,微动平台系统性能优劣直接影响着工作质量与效率。通常,微动平台需要在多个方向上兼具数百微米的工作范围......
近年来,随着纳米制造技术的蓬勃发展,国内外学者对压电致动器展开了深入的研究。相较于传统致动器,压电致动器直接将电压信号转化......
基于视觉的监测系统在野外进行长期工作时,安装了监测系统的平台自身会发生6-自由度(6-DOF)的微小晃动,从而给测量结果带来较大的......
随着科学技术的迅猛发展,尖端工业生产逐渐向着微纳米级别的方向发展,其中在微小加工制造和研究的领域内,精密定位技术已成为核心......
精密定位技术广泛应用于高端仪器设备(如光刻机、扫描电子显微镜等)、航空航天、微纳操作和医疗等众多领域。由于具有精度高、刚度......
精密工程技术在航空航天和精密机械等尖端技术领域中被广泛应用,但随着科学技术的快速发展,各个领域都对微动系统有着迫切的需求,......
以扫描探针显微镜和激光扫描共聚焦显微镜等为代表的超精密科学检测仪器是人类探索微观世界的基础工具，在纳米科技的诸多分支学科中......
振动是提高纳米测量精度的主要障碍之一。抗振、隔振、振动补偿技术成为纳米测量领域中的一大分支，特别是纳米级振动测试技术的发展......
随着科技的进步,通信工程、精密工程等领域的快速发展,高精度、高分辨率、高可靠性的精密定位系统的研究越来越受到重视,发展也越......
针对目前日益增多的超精密仪器仪表,一般给其提供良好工作环境的工作平台只能消除外界对其的振动干扰,对于仪器仪表自身各种执行机......
通过微机校正方法消除了电致伸缩微位移器的非线性，并采用数字ＰＩＤ方法改善了它的动态特性。研制出一套实用控制系统，实现了电致伸缩微位......
刚度对微动平台的驱动行程具有极大影响，为了有效提高微动平台的行程范围，提出一种弹性折叠梁代替传统的弹性薄板结构。首先将整体结......
通过对压电陶瓷微位移执行器动态特性问题的研究，设计了一种可微机控制的数字高压信号源作为电压调节器、压电陶瓷作为驱动器的精密......
为使微定位系统具有较高灵活性,设计了一种三自由度并联微动平台.首先,基于双平行四连杆机构及对称并联结构对台体进行设计,并进一......
微动平台主要以柔性铰链作为其位移导向机构,但是目前常用的弹片式柔性铰链在作为导向机构时存在严重的应力集中的现象,切口型柔性......
进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计。对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析，并进行了......
在微位移技术中，柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合空间微动平台的特点：轻量化、小尺寸、尽可能高的一阶共振频率，以及......
计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度......
分析了二维微动平台由于机构原因产生的两向间位移耦合现象，提出了一种采用线切割方式加工、具有对称式复合柔性四杆机构的微动平台......
研究了采用压电驱动器和柔性铰链结构的微动平台的正弦运动控制。首先分析了压电驱动器的滞回和非线性特性,建立了平台的传递函数;......
介绍了基于微动平台的数字化切片技术,包括系统平台的搭建、相应软件的自主开发及软件开发中的几个关键问题,最后结合具体实物（细胞......
利用桥式放大器设计了新型二维微动平台，通过桥式放大器的1／4数学模型和微动平台的1／4数学模型分别应用矩阵法和拉格朗日能量法计算出......
为了实现2维非耦合纳米驱动控制,介绍了一种基于压电陶瓷驱动和柔性筋板导向的一体化新型纳米级微动平台的结构设计.重点介绍了运......
为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾,本文设计一新型柔性精密微动平台,并利用螺旋理论对其进行相应的运动特性分析。该柔性......
将有限元方法和结构拓扑优化方法应用于三维微动平台设计。以平台中心位置的输出位移为优化目标,以应力准则为约束条件,建立了三维......
为提高微定位系统的灵敏性,设计了三自由度并联压电微定位系统的新构型。首先,在考虑平台结构具有对称性的基础上,采用双平行四连......
针对目前柔性铰链主要靠局部变形来工作,其存在应力集中,且微动平台的动态特性受材料特性、设计制造等误差影响,难以满足变工况条......
采用双平行柔性铰链结构设计了一种二维微动平台,并计算了微动平台各方向的刚度。根据约束条件,建立了理论刚度数学模型;采用序列......
根据高性能直线电机直接驱动宏动平台和宏，微双重驱动精密定位机构的要求，基于柔性铰链设计微动平台，实现大行程纳米级别的分辨率和定......
为了使微动平台能获得结构简单、性能良好、结构新颖的特点,本课题应用柔性并联结构设计了一种新结构的微动平台。首先,采用直角柔......
为测量芯片在变温度场下的形变,将阴影莫尔条纹测量方法引入其中,实现高精度形貌测量,精确的相位移为阴影莫尔条纹测量方法中的关......
微分几何理论是分析和解决多变量耦合非线性控制系统的有效工具,本文将微分几何理论引入到磁悬浮平台控制中,对磁悬浮微动平台进行......
针对微纳操控技术对微动平台提出的大行程、高精度、多自由度和输出位移解耦等要求,设计了一种基于两级放大机构的xy两自由度双向......
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对一种平面3-PRP平面并联机构的平台进行了机构、自由度、运动学和动力学分析,建立了平台的运动学和动力学模型,并根据数学模型对......
文中对所设计的基于柔性铰链的微动平台进行了静态刚度、弱截面处最大应力和固有频率的分析。用有限元法进行了平台的建模，仿真得出......
针对精密机械以及精密加工等领域需要纳米级的定位精度,开发出由三组二自由度高精度测量模组组成的六自由度压电微动平台。该平台......
压电陶瓷驱动器是近年发展起来的一种新型微位移控制器件,利用压电陶瓷的逆压电效应使之产生相应的应力和应变,可以驱动二维柔性铰......
为了实现复合桥式微动平台的精确运动,提出一种基于其动态特性的优化模型并对其结构参数进行优化。采用虚功原理推导出平台的运动......
科学技术不断发展进步,人类对微观领域的研究不断深入,微操作系统作为一种重要的研究工具越来越广泛地应用于该领域的研究中。所谓......
与传统运动平台相比,微动平台具备构型灵活多变、可控性好、刚度大等特点,在精密定位领域发挥着重要作用。目前对微动平台的研究,......
介绍一种基于数字ＰＩＤ方法，研制出微机控制系统，实现了压电陶瓷微位移器动态性能的改善，并将其用于精密微动平台，实现平台精密快速进给。......
