双靶共溅射相关论文
在同一次双靶共溅射过程中,通过改变基体相对于靶材的位置制备了不同化学成份TiAl系金属间化合物薄膜。采用EDS、XRD、SEM、AFM等......
近年来,社会经济的飞速发展对能源的需求与日俱增,有限的化石能源储量制约着社会的进步和经济的可持续发展。绿色、可再生能源的有......
用双射频共溅射和溅射后退火的方法在单晶Si（111）衬底上制备了SiC薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）及原子力显微镜（AFM）分析了样......
以金属钨靶和石墨靶反应共溅射的方法,在硅片上制备碳化钨薄膜。实验探究了功率和衬底温度对薄膜成分、质量的影响。研究表明,衬底......
长期以来,我国的水暖元件表面镀Ni/Cr装饰膜系的工艺一直采用电镀技术。年产量很大,产品远销国外。但是电镀具有无法消除的致命缺......
