吸杂技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

吸杂技术相关论文

硅材料双吸杂技术的研究

引言为了提高硅材料质量,有效提取晶体中有害杂质、减少晶体中微缺陷或降低微缺陷的电活性,抑制工艺流程中难免会引入的沾污以及......

期刊

吸杂技术微缺陷有害杂质离子配对重金属外延片硅材料

双重吸杂技术的研究

本文介绍了“双重吸杂技术”的优点,它比目前常规“POGO”技术,减少了三次CVD 工艺过程,操作简便,有利于大批量生产;报导了具有双......

期刊

吸杂技术外延片漏电流

硅材料的吸杂研究

本文综述了硅材料中吸杂技术和吸杂机理,硅中氧碳氮杂质和氧沉淀对吸杂的影响和作用等研究的新进展,并就硅材料吸杂中存在的问题作......

期刊

氧沉淀氮杂质碳杂质氧浓度吸杂技术硅材料

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