四探针技术相关论文
导电纸的潜在应用引起了大家的兴趣,如感应墙纸、感应器、其它电子器件。电子纸可应用于强度高、低重量、低能耗的显示器上,是信息......
电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一，四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段，并且已经广泛地应用于半导体制造工艺及检......
期刊
论述了用无接触方法测试大型硅片电阻率均匀性的新方案．回顾了EIT技术的发展与成果，对其基本原理和重建算法在理论上进行了描述，提出......
介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法，将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试，并对测试过程中产......
研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪，可用于测试无图形样片电阻率的均匀性，用斜置的方形四探针法，经显微镜、摄像头及通信口接入计算......
对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并......
介绍了如何把“透明电极薄膜的制备及其电阻率测量”的实验引入到普通物理实验教学中,用简单的直流溅射镀膜仪制备不同厚度的金属......
提出用改进的Rymaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法 ,从理论上推导出方形四探针产生游移时的R......
