复合离子镀相关论文
利用复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了不同沉积气压下的TiCN薄膜和不同调制周期的TiN/TiCN多层膜。研究了沉积气压及调制周期......
学位
TiN薄膜以其漂亮的金黄色、良好的导电导热性能和硬度高等优良特性，被广泛用于机械工业中的刀具、模具，但其容易被氧化，在高速切削而......
采用将电弧离子镀与磁控溅射离子镀相结合而得的复合离子镀的方法,分别用高纯Cr作为电弧靶、用高纯Al作为溅射靶,通入氮气和氩气,......
以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果......
AlTiN三元复合膜在刀模具领域得到了广泛的应用,这是由于它具有高硬度、耐磨、较低的摩擦系数、良好的膜基结合力、明显的抗高温氧......
多弧离子镀和磁控溅射制备薄膜各有优缺点,将2种技术复合制膜的研究还少有报道。采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在304不锈钢基......
期刊
TiCN薄膜的耐蚀性研究对于扩大其应用领域具有重要作用。采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了TiCN薄膜，......
TiAlCN集TiAlN和TiCN优良特性,作为一种新型硬质薄膜材料具有重要应用,目前研究主要集中在单一工艺下薄膜的组织结构和力学性能,对......
本工作将阴极真空电弧沉积法和磁控溅射离子镀法结合形成复合镀膜工艺,即用电弧蒸发Ti靶的同时,用磁控溅射Al靶,并通入反应气体N2,......
