孵化层相关论文
报道了采用高压射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)制备高效率单结微晶硅电池和非晶硅/微晶硅叠层电池时几个关键问题的研究......
采用VHF-PECVD技术沉积微晶硅薄膜,获得较高的生长速度,但是薄膜质量较差,这与初始生长过程中生成厚的非晶孵化层关系密切。本研究......
针对氢化微晶硅薄膜吸收系数较低、制备需要较高厚度,从而需要较高沉积速度的问题,考虑到压强对沉积速度及晶化比的重要影响,在分......
采用高压射频等离子体增强化学气相沉积方法在非晶和微晶两种n型硅薄膜衬底上沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅薄膜,研究了不同n......
对甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备的微晶硅薄膜太阳电池进行了研究.喇曼测试结果显示：微晶硅薄膜太阳电池在p/i界面存在着......
在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积（VHF-PECVD）法制备了一系列微晶硅（μc-Si：H）薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较......
采用甚高频等离子体辅助化学气相沉积技术（VHF-PECVD）分别对薄膜沉积参数进行了功率密度-沉积气压和硅烷浓度-气体总流量两因素优化......
本文采用27.12 MHz等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了氢化微晶硅薄膜材料,通过Raman散射谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、......
微晶硅薄膜与非晶硅薄膜相比,有希望在太阳电池应用中提供更好稳定性和转化效率。微晶硅薄膜的间接带隙特性使得它的吸收系数比较......
针对氢化微晶硅薄膜吸收系数较低、制备需要较高厚度，从而需要较高沉积速度的问题，考虑到压强对沉积速度及晶化比的重要影响，在分析了......
