对流辅助化学气相沉积相关论文
随着全球能源危机和能源冲突的日益逼近,可持续发展的可再生能源特别是太阳能正在改变全球的能源格局和来源。应用于太阳能光伏发......
在石墨衬底上分别制备了具有(220)和(400)择优取向的多晶硅薄膜。首先利用磁控溅射技术直接在石墨衬底上制备非晶硅薄膜层,以及先......
