工艺误差相关论文
腔光力学是物理学的一个分支,主要研究微纳尺度介质上光场与机械运动之间的相互作用。它可用于研究丰富的光物质相互作用过程,可实......
硅基片上模式复用系统在多个本征模式中携带传输的信号，能够有效地提高系统传输的带宽，具有小体积、高集成度的优点。构建片上模式复......
硅基电子芯片是现代信息技术的基石。伴随着信息时代的发展,人们对计算机性能和通信网络传输速度的要求都越来越高。传统电子芯片......
波导开关外壳与转子的波导口在两极限位置要精确对准.本文分析在整个传动链中影响对准的各种因素及传递关系,从零件的工艺误差出发......
1 双通道多极旋转变压器粗精机基准电气零位偏差过大的原因分析rn双通道多极旋转变压器的基准电气零位,理论上应是重合的,这样才符......
加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动又指的长度和宽度在主......
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通......
研究分析了CMOS多晶电容的工艺误差,给出了氧化硅介质层厚度的梯度误差、边际效应等工艺因素对CMOS多晶电容的影响.基于单位电容的......
为提高微机电系统（MEMS）万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......
借助于小信号理论,建立了用于求解小信号增益和相位的三阶微分方程,并以V波段螺旋线行波管为例,就螺旋慢波电路参数在公差范围内外......
0引言射频可调滤波器就是一类既具有单SAW滤波器优异的电性能又能够实现滤波器带宽可调或是通带移动的滤波器[1][2]。本文提出了一......
为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型，解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题，以微机械加工技术制备的音叉振动式......
频率选择表面(Frequency Selective Surface,简称FSS)作为功能性结构的一个代表,是一种周期性的具有空间滤波特性的频率选择结构。......
全面分析了选择性激光烧结(SLS)过程中,引起SLS成型件误差(机器误差,加工工艺误差和模型误差)的各种原因和影响成型精度的各种因素......
频率选择表面天线罩(简称FSS天线罩)是将频率选择表面的选择透过性与传统介质天线罩相结合而形成的一种新型隐身天线罩,该天线罩可......
直廓滚刀无法精确铲磨.将其定义为一系列变位的螺旋齿轮,并尽可能消除工艺误差.重磨后的每刃线上至少有两点与精确刃线重合,按共扼......
在太赫兹频段,折叠波导慢波结构主要采用微细加工技术完成。讨论了目前折叠波导慢波结构主要的微加工工艺,分析了主要工艺误差包括......
利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微......
平板光子晶体波导具有带隙限光和异常色散的特性,为光子集成的实现提供了新的途径。不同光子晶体波导中的模式以及同一光子晶体波......
静电驱动与检测技术被大规模地应用于MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)转换器与传感器中,具有灵敏度高、响......
波分复用系统中的关键元件之一是波分复用器,它对系统容量和系统传输质量有决定性的影响。本论文对最具发展潜力的两种平面光波导......
分析了阵列波导光栅器件的制作过程中引入的各种工艺误差。对波导尺寸误差、折射率 误差以及长度误差进行了等效,并计算了位相误差......
机械加工中存在的误差是制约机械产品质量的关键因素。机械零件加工误差受多种因素影响,机械加工工艺系统误差的几何误差与动误差......
内置式永磁电机通常采用转子削弧的方式以减小齿槽转矩。基于偏心式和正弦式削弧,分析比较了不同工艺误差对齿槽转矩的影响。以12......
针对内置式永磁电机生产过程中2种典型的工艺误差,研究了它对电机主要电磁性能的影响。以12槽8极设计为例,首先介绍了定转子的生产......
定量地分析了蚀刻衍射光栅(EDG)波分复用(WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、......
本了提高摆线齿轮的加工质量,迫切需要解决摆线齿轮误差的评定标准和测量方法。近年来,我们研究了摆线齿轮误差的测量技术,同时对......
为了首次在国内将MEMS-IMU应用在某战术级项目的姿态测量上，本文研究了在较为复杂的实用环境下，MEMS-IMU及其中的MEMS惯性传感器的输......
阵列波导光栅(AWG)是一种典型的集成型光波导器件,具有优越的性能和广泛的应用前景。本文对AWG的特性进行了深入研究,提出了新的有......
波导开关是用于微波馈线中相邻通道之间进行相互转换的微波元件,转子在两极限位置时,其上的波导口与外壳上的波导口应精确对准,才......
宽带通信中跳频通讯系统的发展促使了对智能射频前端的广泛研究，而作为智能前端中核心元件的可调滤波器更是研究的焦点。由于以铁电......
随着行波管往更高频率发展,工作频率扩展到数百GHz甚至THz的频率范围,线路结构的最小尺寸要求也达到0.002mm数量级或者更小,对工艺......
数控机床加工是后现代大工业生产的重要形式,数控机床加工的优势在于速度和质量,但是在实际的数控机床加工中受到各种条件和因素的......
在机械加工活动中,加工精度对产品的质量有着极大影响,这就需要在零件加工过程中高度重视零件的加工精度这一环节,避免受众多外界......
