电容式微加速度计相关论文
电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，它广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。随着微电子机械......
建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出......
噪声是以微弱信号处理为特征的电容式微加速度计性能提高的主要制约因素。针对电容式微加速度计的噪声,详细分析和研究了其特性。......
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分：原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,......
本文分析了压电式、电容式、隧道式几种典型微机械加速度计的基本结构和工作原理,并简单阐述了微机械加速度计的现状发展及在制导......
针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了......
为实现电容式微加速度计的数字输出闭环,设计了一种数字输出闭环ASIC(Application Specific Integrated Circuit)接口电路,以降低......
为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的特殊现象,对其力学模型和电路特性进行理论分析,推导了闭环输出、零偏、零偏重复性、......
电容式硅微机械加速度计作为一种惯性传感器件广泛运用于导航系统,但其温度特性较差,制约其综合性能的提高。为进一步提高闭环电容......
为了提高MENS微加速度计的各种性能,完成了基于电容式微加速度计的过载传感器信号调理电路的设计。设计了基于Model 1221电容式微......
利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微......
电容式微加速度计是一种基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器,在物联网、移动通信、惯性导航等领域均有重要应用。电容式微加......
封装技术是微加速度计的关键技术之一,封装效应引起的稳定性问题已经成为微加速度计向高精度应用领域迈进的最大障碍之一。为系统......
电容式微加速度计具有测量精度高,输出稳定,温度漂移小等优点,是目前应用最广泛的MEMS传感器之一。其中,利用ΣΔ调制技术实现数字......
为了在加速度传感器设计中准确预测系统电路噪声,优化电路设计参数,建立了改进的电容式微加速度计中的电路噪声模型.详细分析了电......
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了......
电容式微加速度计的噪声包括机械热噪声和电热噪声 ;主要分析了机械热噪声在开环系统和闭环系统中的噪声特性以及开环系统和闭环系......
MEMS封装残余应力是在封装工艺过程中由于材料热失配而在芯片上产生的残余应力,它对于高精度MEMS微加速度计的可靠性和长期贮存稳......
MEMS(微机电系统,Micro Electro Mechanical System)惯性加速度计是微惯性测量组合(MIMU, Micro Inertial Measurement Unit)的关......
电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容......
近年来,随着微机电系统技术的迅速发展,使得传感器的微型化得到了长足进步，以微机械惯性传感器为代表的微加速度计应用更加广泛，如何......
AD7745是世界上首款24bit数字输出的电容读取芯片,可以测量一对差分电容。它的输入共模偏置电容最大可到17PF,输入电容变化范围为&......
