近年来,微机电系统（MEMS）技术随着微纳机械加工技术的快速发展而一直不断发展,MEMS传感器在汽车、生物医学、电子和国防等领域的应用......

为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型，解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题，以微机械加工技术制备的音叉振动式......

近年来,由于微电子机械加工技术(MEMT, Micro-Electro-Mechanical Technology)的不断进步,微电子机械系统(MEMS)技术正在向实用化......

以体微机械加工技术制备的音叉式振动型微机械陀螺为研究对象，以提高其检测电容的解析精度为目的，利用多自由度动态有限元解析理论，首......

FQ和SB2型红外分析仪两者光路结构类同,下面从仪器的光源组件、气室、检测电容三部分的光学结构分析,引出使用维修中应注意的一些......

互感器作为连接一次与二次的主要元件在开关柜中尤为重要。因此，新型电子式互感器的出现将对开关柜的设计制造将产生相当大的影响。......

平行板电容是大多数MEMS传感器件的核心检测结构。考虑随着检测电极间距的减小，电极表面粗糙度会对其空间电场分布产生影响，本文研究......

结合斩波稳定技术,通过电容匹配和多级优化的方法分别对用于MEMS微传感器的微电容读出电路的噪声性能和功耗进行了优化。基于优化......