差动干涉相关论文
介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用，该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”．其结......
介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定......
基于差动光程差倍增法将微小位移转化为多倍光程差,通过电桥光电转换电路,得到干涉条纹数的变化.采用差动干涉方法,提高了光程改变......
【正】这是一种用于测量高精度加工表面微观形貌(轮廓)和粗糙度的仪器。采用创新的同轴式差动干涉原理(已获国家发明专利授权)使其......
