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并联机构具有高速、高精度、负载能力强、动态特性好等独特优势,在机床和机器人领域有广阔的应用前景,目前人们针对并联机构的研究......
介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机......