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为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术（MBE）,在半绝缘GaAs衬底（001）方向上生长......
介绍了一种多功能应力阻抗效应自动测试仪,该测试仪集成了巨应力阻抗(GSI)效应和巨扭力阻抗(TGI)效应的自动测试,可实现恒张力条件......
根据巨应力阻抗效应的检测原理以及巨应力阻抗材料应变因子的定义．对其检测系统的结构和工作原理进行了设计研究。重点设计了张力加......
采用射频磁控溅射法在氧化铝陶瓷基底上制备了Cr-Si-Ni-Ti压阻薄膜，研究了不同退火温度对薄膜电性能的影响。结果表明：在溅射态及退......
介绍了一种动态扭矩遥感测试系统的工作原理及其应用,提出了针对该类动态扭矩测试系统的校准原理,并介绍了具体的校准方法。......
伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用,学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模......
柴油机电控高压共轨喷射系统由电控系统和燃油供给系统两部分组成,电控系统由传感器、电子控制单元(ECU)和执行机构三部分组成。传......
多晶硅薄膜具有良好的压阻特性,晶粒结构和掺杂浓度决定其压阻特性.一般通过调节掺杂浓度改变压阻参数,但现有的多晶硅薄膜压阻系......
