微半球谐振陀螺相关论文
陀螺仪是运动测量、惯性导航、制导控制等领域的核心器件。微半球谐振陀螺是最具发展潜力的陀螺之一,具有动态范围大、精度高、抗......
微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀......
针对无人装备对惯性器件微小型化的需求,设计了一种新型的速率积分型微半球谐振陀螺。该陀螺设计有均匀分布的灵敏度放大单元,可提......
熔融石英谐振结构是微半球谐振陀螺的核心部件,为满足陀螺应用需求,需要对谐振结构进行表面金属化处理以增强其导电性。利用COMSOL......
微机械电子系统(MEMS)是包括了微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等的微型系统,MEMS技术是一门新兴的高科技前沿......
基于MEMS加工技术的微半球谐振陀螺在吸收了传统半球陀螺全角测量优势的同时具有体积小、质量轻、成本低以及适合批量化生产的特点......
微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对......
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